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2023-04
在自動化（huà）半導體（tǐ）生產線上，半導體工藝設備(如，立式熱處理爐)的控製係（xì）統通常以任務(job)為單位控製半導體工藝組（zǔ）件(例如（rú），可包括反應腔室、機械（xiè）手等)完成半導體工藝，即，控製係（xì）統逐個任務地執行半導體工藝，每一晶圓加工任（rèn）務的任務信息均包括晶圓（yuán）傳（chuán）入（rù）反應腔室至完成工（gōng）藝後傳（chuán）出工藝腔室的整（zhěng）個加工工（gōng）序的流程信息。
2023-04-14
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2023-04
半導體晶圓傳送設備一般都有同步和非同步兩種類型。同（tóng）步傳送設備采用的是同樣的傳送速度，並且傳送位置能夠準確匹配，而非（fēi）同步傳送設備可以根據不同的要求，自行調（diào）整傳送速度（dù）和位置（zhì），從而達（dá）到更加準確的（de）物料運（yùn）輸效果。
2023-04-14
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2023-04
在使（shǐ）用半導體晶圓（yuán）傳送設備（bèi）之前，一定要仔細閱讀說明書，了解各個部件的構成、功能以及使用（yòng）方法，以免（miǎn）不當使用導致意外情況的發生。
2023-04-14
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