OP5240I（膜厚儀）
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關（guān）鍵詞：
半導體設備（bèi）、半導體工藝
所（suǒ）屬分類：
產品描述
Opti-Probe 5000 用於（yú）非接觸式晶圓膜厚測量，通（tōng）過測量單層或（huò）多層晶圓上薄膜的（de）光學參數（反射光和建模的薄（báo）膜參數），計算出薄膜厚度。Opti-Probe 5000 集成了多達六種不同的技術來測量薄膜厚度以及反射率，使（shǐ）用 laser，white light lamp，D2 lamp 等光源進行測量。
產（chǎn）品詢（xún）價
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